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激光切割光束的穿透和加热分析

发布时间:2019-09-16 23:51:02    点击量:12    来源:本站


超短脉冲激光切割通常提供短脉冲和高重复率的强脉冲(有时超过每秒100,000个脉冲)。这些激光器的突出特点是它们可以在短时间内集中脉冲强度,从大约1皮秒(10-12秒)到数十飞秒(10-15秒)。每个脉冲都有一定的能量,但其持续时间非常短,因此可以获得相当高的峰值功率(高达数十瓦)。

对于USP激光器,脉冲非常短且充满能量,几乎可以立即去除被照射的材料。与更传统的激光器不同,这些超短脉冲不会通过吸收热量来移除热量,但会导致材料电离而不会产生热效应。这种效应被称为冷烧蚀,允许最小的内应力,裂缝,毛刺和其他通常由吸热引起的缺陷。2USP激光器每秒可钻数千个孔,比任何其他工艺小7个(几微米;见图1)。此外,由于很少或不需要对处理过的材料进行后处理,高速激光器可以以较低的成本提供高生产率。4.商业化的usp激光器变得更加紧凑和经济,证明它们被用于越来越多的工业应用中。


激光切割光束的穿透和加热分析


随着浸没式光刻技术的应用,半导体器件的晶体管密度越来越大。现在我们可以看到毫米级硅晶片传输1TB信息,或者整个计算机集成在一个芯片上。

激光切割光束为半导体光刻机提供场均化器。准分子激光器用于光刻以在硅晶片上均匀化以实现高精度和高分辨率。

用于激光切割光束的紫外和红外波段激光器改善了高分辨率显示材料的性能和功能。通过使用紫外激光的激光剥离技术实现柔性显示膜和剥离基板的非接触光剥离,并且不可能进行传统的机械分离。

在oled显示屏工艺中,激光切割光束整形技术将深紫外激光器集成到20-30um,750mm甚至更长的高能量密度线光斑中。通过无接触扫描将柔性显示膜从玻璃基板上剥离。
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